AlN surface modification by UV laser radiation

  1. Yaghdjian, L.
  2. Nicolas, G.
  3. Vacquier, G.
  4. Autric, M.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Año de publicación: 1997

Volumen: 3404

Páginas: 215-223

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.308619 GOOGLE SCHOLAR
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