AlN surface modification by UV laser radiation
- Yaghdjian, L.
- Nicolas, G.
- Vacquier, G.
- Autric, M.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
ISSN: 0277-786X
Ano de publicación: 1997
Volume: 3404
Páxinas: 215-223
Tipo: Achega congreso